Kietuosiuose kūnuose taip pat pasireiškia pernešimo reiškiniai, bet jie atsiranda visai kitaip negu dujose. Pirma, kietuosiuose kūnuose netenka prasmės laisvojo kelio ilgio sąvoka. Antra, sąveikos jėgos tarp molekulių yra labai stiprios ir nuolat veikia jų judėjimą.
Kietuose kūnuose stebima ir savidifuzija, ir abipusė difuzija. Vaizdžiausiai tai matyti stebint abipusį dviejų kūnų medžiagos susiskverbimą, kai tie kūnai pabūna ilgą laiką glaudžiai susilietę.
Savidifuzija atsiranda daugiausia šiais trimis keliais:
- Jei kristalinės gardelės mazgas yra tuščias, tai vienas iš gretimų atomų gali iš savo mazgo pereiti į tuščiąjį. Toks perėjimas yra tolygus tuščiojo mazgo judėjimui. Kad dėl tuščiųjų mazgų judėjimo vyktų savidifuzijos procesas, reikia kad tuštieji mazgai gardelėje būtų netolygiai pasiskirstę, t. y. kad būtų tuščiųjų mazgų gradientas. Susisdarant tuštiesiems mazgams,svarbų vaidmenį vaidina dislokacijos. Kad dėl tuščiųjų mazgų judėjimo pasireikštų difuzija, būtina, kad kartu būtų tenkinamos dvi sąlygos: turi būti tuščių mazgų ir vieno iš gretimų atomų energija turi būti pakankamai didelė, kad jis galėtų išeiti iš savojo mazgo.
- Jei kristalinės gardelės mazge esantis atomas įgijo pakankamai didelę virpesių energiją, jis išeina iš savojo mazgo. Jei greta nėra tuščio mazgo, jis įsiterpia tarp mazgų ir toliau juda tarpmazgiais.
- Gretimi gardelės mazgai gali pasikeisti atomais. Tokia difuzija nėra susijusi su kristalinės gardelės defektų judėjimu.